技术参数
1 .真空室为 U 形腔体，前开门结构。
1.1 腔体尺寸：约Φ400(mm)×H450（mm）。
1.2 前开门配观察窗： Φ 100（含观察窗挡板） 。 镀膜室所有焊缝连接均采用氩弧焊接技术。
1.3 焊接完成后，镀膜室进行内表面抛光，外表面电解处理。
2 样品台可旋转： 电动旋转，转速：0-30rpm，转速在线可调。
2.1 可升降： 电动升降，升降范围： ±25mm。
2.2 可加热：加热范围：室温-600℃ , 温控表控温，控温精度±1℃。 
3 低噪音机械泵：6L/S
3.1 复合分子泵：800L/S;FF-150/800
3.2 插板阀（电动）：CF-150
3.3 旁抽阀（气动）：KF-40
3.4 前级阀（气动： ）KF-40
3.5 放气阀（气动)：CF-16
4 采用复合真空计+电阻规+电离规
4.1 数显复合真空计（一低一高） ;
4.2 电阻规：测量低真空 ;
4.3 电离规：测量高真空 ;
4.4 电阻规测量范围：1 × 105Pa-1× 10-1Pa
4.5 电离规测量范围：1 × 10-1Pa-1× 10-5Pa
5 磁控溅射靶尺寸：二英寸（一强，二弱） ;
5.1 冷却方式：水冷 ;
5.2 挡板：气动；
5.3 兼容模式：直流(DC)溅射、中频（MF）、射频（RF）溅射 ;
5.4 溅射靶角度可调；
5.5 磁控溅射靶数量：3 只（进口），
5.6 三只磁控溅射靶在生长室内上部均匀分布 ;
5.7 采用基片在下、磁控溅射靶在上的结构，即由上向下溅射。 
6 直流溅射电源；
6.1 功率：500W；
6.2 电压：0-700V；
6.3 显示：数字式
6.4 冷却方式：风冷
6.5 数量：2 台
7 射频溅射电源：
7.1 功率：500W;
7.2 频率：13.56MHz；
7.3 匹配方式： 自动匹配；
7.4 显示：数字式；
7.5 功率稳定度： ±0.1%；
7.6 冷却方式：风冷；
7.7 数量：1 台
8 质量流量控制器：
8.1 量程：100SCCM
8.2 准确度: ± 1.5%F.S；
8.3 线性： ± 1%F.S；
8.4 重复精度： ±0.2%F.S；
8.5 响应时间： ≤10sec；
8.6 数量：2 只；
9 溅射室极限真空度： ≤5.0x10-5Pa(经烘烤除气后)。
9.1 系统真空检漏漏率： ≤5.0x10-7Pa.l/S。
9.2 系统从大气开始抽气：溅射室 40 分钟可达到9.0x10-4 Pa。
9.3 系统停泵关机 12 小时后真空度： ≤10Pa。
10 照明模式：冷光
10.1 照明装置：LED 灯。
10.2 照明光源数量：1 套。
11 缺水欠压断水报警保护系统。供电系统相序检测及报警保护系统。系统具有强电缺相保护，超温报警显示等功能。总控电源、控制泵阀、真空保护有必要的安全互锁功能。 
12 智能数显水冷机；1台制冷量：2.85KW（1P）；水管路、接头：若干；冷冻水温度范围：5℃至 35℃  
13 触摸屏：1台控制软件及系统：1 套 真空一键式获得
配置清单
分子泵 800/s 1 台 
机械泵 6L 1 台
高真空插板阀（CF50 与分子泵相连）1 只 
高真空气动电磁阀 3 只
流量计 2 只 
真空室 1 台
数显真空计（二低一高）1 套
射频电源  1 台 
直流电源 2 套  
样品台 1 套
封接观察窗及挡板（CF-100）1 套
截止阀 2 只  
磁控靶 3 只  
照明组件 1 套
电控柜（1.6 米）1 台
总控电源 1 套
高性能主机 1 台
控制软件及系统 1 套