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雷博匀胶机MS800-1C/1D
1、适用于直径450mm-800mm的非规则重载基底匀胶工艺 2、可根据客户基片规格及工艺定制设备 3、不锈钢全柜式柜体，多级安全系统 4、透明观察窗，配置专业排风及排废系统 5、可配置自动胶臂滴胶功能 6、触摸式人机交互界面，可灵活设置100组工艺配方。
- 产品名称：雷博匀胶机MS800-1C/1D
- 品牌：雷博
- 型号：MS800-1C/1D
- 规格：台
- 产地：中国
- 价格：电话咨询
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产品介绍

产品特点
1、适用于直径450mm-800mm的非规则重载基底匀胶工艺;
2、可根据客户基片规格及工艺定制设备;
3、不锈钢全柜式柜体，多级安全系统;
4、透明观察窗，配置专业排风及排废系统;
5、可配置自动胶臂滴胶功能;
6、触摸式人机交互界面，可灵活设置100组工艺配方。
产品参数
1、基片尺寸:直径≤800mm，方片对角线≤800mm;
2、旋转速度范围:50-5000rpm;加速度范围:25-5000rpm/s;转速精度:土lrpm;
3、胶液管路:≤3路;
4、膜厚均勻性:士2%(@0.1~40um)(去除边缘单边10mm);显影均匀性:士3%;
5、基片长宽比极限:20:1;
6、选配:自动膜厚仪、自动同步罩、自动清洗、分液回收;
7、操作界面:10寸触摸屏;
8、程序:≤100组,每组≤100步。