雷博匀胶机LS1800-1C8.5匀胶机|兰州文曦分析仪器有限公司|甘肃分析仪器,兰州检测仪器,检测设备,测绘设备,环境监测设备,气体检测设备, 兰州元素分析

雷博匀胶机LS1800-1C8.5匀胶机
1、兼容202448~851410规格掩模版匀胶工艺 2、可根据客户基片规格及工艺定制设备 3、洁净耐腐蚀外壳，专业风道设计，洁净度十级 4、多级安全监控 5、自动供液系统，提供胶液保护 6、触摸式人机交互界面，可灵活设置100组工艺配方。
- 产品名称：雷博匀胶机LS1800-1C8.5匀胶机
- 品牌：雷博
- 型号：LS1800-1C8.5
- 规格：台
- 产地：中国
- 价格：电话咨询
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产品介绍

产品特点
1、兼容202448~851410规格掩模版匀胶工艺;
2、可根据客户基片规格及工艺定制设备;
3、洁净耐腐蚀外壳，专业风道设计，洁净度十级;
4、多级安全监控;
5、自动供液系统，提供胶液保护;
6、触摸式人机交互界面，可灵活设置100组工艺配方。
产品参数
1、基片尺寸:202448~851410;基片重量:≤1000Kg;
2、旋转速度范围:50-1000rpm;加速度范围:25-200rpm/s;3、转速精度:土lrpm;滴胶方式:Slot-die/Scan;
4、匀胶膜厚范围:200nm~2000nm;
5、膜厚均匀性:土2%(@300~2000nm)(去除边缘单边10mm);6、膜面Particle数量:≤10微米，≤0.01ea/cm2;基片长宽比极限:5:1;7、选配:自动膜厚仪、自动清洗、分液回收、自动上下料、自动去边模块;8、操作界面:10寸触摸屏;程序:≤100组，每组≤100步。