二、技术参数

1、额定功率： 40kW

2、电源电压： 380V 50HZ 五线制

3、炉型： 立式结构 前部开门(侧开门)

4、加热方式：石墨碳管

5、电极相数：3相

6、最高温度：2000 ℃

7、工作区尺寸： Ф160×160 mm (D×H)

8、压头直径： Ф85mm

9、最大压力：20T (数显、自动调压、自动保压)

10、压力波动范围：≤±50KG、 位移显示精度±0.02 mm

11、压头最大位移：100 mm ±2mm(数显)

12、加压方式：单向加压(由下向上)

13、液压控制：电动

14、空炉冷态极限真空度：5×10 -3Pa

15、压升率： ≤ 3.0Pa/h

16、温度控制方式：铼热电偶

17、温度控制精度：温度高于 ±1℃（600℃以上）

18、气氛保护：氩气、氮气

19、充气压力(微正压)： ≤ 0.015MPa

20、控制系统:以 15 寸液晶触摸屏及 PLC 为核心

21、烧结样品尺寸： Ф15-60mm

三、设备组成:

真空热压炉由加热室、真空炉体、真空系统、充放气系统、气控系统、水冷系统、压力机及液压系统、电控系统等组成。

四、结构说明

1、加热室:

发热体采用高纯石墨成形，在均温区外环对称分布，采用三相整流变压器加热方式。 炉壳与水冷铜电极之间采用高纯氮化硼有效可靠地绝缘结构，避免因热处理过程中材 料挥发造成短路而烧毁电极。为了便于进出料，加热室前部开门， 水平出料。

2、隔热屏:

采用石墨碳毡隔热屏，由石墨硬毡、石墨软毡组成，最外层采用不锈钢套加以固定，并且焊接多道加强筋以保证长期使用不变形。发热体更换方便，整个加热区可以作为

一个结构完备的部件被拆卸出来，便于维护和修理，耐热冲击性好，便于快速加热。

3、炉体: 炉体为单室蛤壳式， 双层结构，前开门，立式安装。内层为 304 不锈钢精密抛光，

外壁碳钢油漆处理。两层之间形成夹层套可以通冷却水将传到炉壳上的热量带走，其 上下法兰焊接为一个整体。炉壳上设有真空抽气接口、水冷电极引入装置、热电偶测温装置、 监测热电偶装置，炉门上设有观察窗装置、水冷铜电极引入装置、炉体与炉门密封结构为法兰形式，手轮螺栓锁紧。异型密封圈保证密封低泄漏。炉顶有水冷法兰及内外封头，双层水冷结构与炉壳焊接为一体，设有水冷不锈钢 上压头孔、保护气体自动放气阀等；3炉底由水冷法兰及内外封头，双层水冷结构与炉壳焊接为一体， 设有不锈钢下压 头孔、保护气体自动充气阀、并安装高精度位移传感器。炉体及其接管内表面抛光后均经过 严格的水压及气压试验，确保焊缝质量而不发生渗漏，真空室采用进口氦质谱检漏仪经过严 格的真空极限及真空漏率测试。

4、主测温装置:

热电偶采用自主研发的保护套管钨铼热电偶,采用进口超高温绝缘材料使热电偶可从室温直接测到 2000℃,且在 2000℃高温环境下长时间使用，不易断偶、使用寿命长、

测温准确等特点。炉体上还装有一支 K 型监测热电偶，检测保温层温度， 主测温装置一旦出现故障，将自动切断加热程序并报警， 起到保护设备和烧结工件的安全性。

5、保护气体 (氩、氮气)充放气系统:由自动 CKD 电磁阀、转子流量计及管路构成，可设定不同的充气压力范围， 通过压力开关可自动充气和放气。

6、水冷系统: 采用密闭式不锈钢方管结构， 由管道、阀等相关装置组成。由各种管道阀等相关装置组成。冷却水总管进入后，经过各支管送到炉体、炉门、电极、真空泵等需要冷却水的地方， 然后汇总到水管排除。冷却水循环支路水管采用快插式耐高温橡胶管。总进水管路设有电接点压力表， 具有断水声光报警自动切断电源功能。每路冷却水进水管都装有手动不锈钢阀门，可手动调节水流量大小。关键部位电极处安装有水流量报警器，确保设备使用安全。

7、液压系统: 压机采取双梁两立柱式， 采用电动输入方式。由液压站配有比例阀压力调节器、压力传感器、液压缸等相关液压装置。经严格加工及调整使上下横梁的中心安装孔具备良好的同心度，具有较大不锈钢面板的工作平台，用来放置真空炉体， 炉体上的水冷压头与油缸的连接方式为螺纹连接， 保证上下压头的平行度。真空热压炉专用的液压系统， 具有泄压与保压功能，用来驱动油缸，压力传感器采用进口产品，自动整定次级压力，并能有效补偿由于热延带来的压力波动，压头测距采用光栅电子尺(测距精度0.02mm)。

8、真空系统: 采用二级泵配置，由壹台成都南光 2X-30 旋片泵，壹台都南光 KT-200 扩散泵组成。主真空阀气动挡板阀，气动蝶阀， 真空压力表、放气阀等组成， 真空管道与泵的联接采用金属波纹软管快速接头联接(减缓震动)，真空度的测量采用数显复合真空计。

9、温控系统:

具有多组 P.I.D 功能全自动控制，具有超温声光报警功能，电控系统还具有过流、断水、超温等声光报警功能。 主要电器元件采用欧姆龙或施耐德品牌，电控屏箱按威

图标准制作,操作方便。电气控制系统集中在控制柜中， 面板上设计了 15 英寸液晶触摸屏、指针电流及电压表、真空计等。控制柜为标准电控柜结构，集成了通风系统。能够保证不会因为环境温度过高而影响柜内元件及仪表的正常使用。控制部分以 15 应寸液晶触摸屏和可编程控制器 PLC 为核心，配以空气开关、接触器、继电器、指示灯等元器件， 通过各种传感器的信号， 实现炉体机械机构的逻辑控制。对温度、真空度进行记录、存储、实时显示、设定工艺曲线，具有多组工艺配方的储存、调用功能。全部工况动作配有安全联锁保护，具有超温断电， 停水断电(停止加热、真空泵等)。设置必要的声光报警及保护， 例如超温、水压低、气压低等， 设置有应急开关。

10、压头、垫块:

设备配备一套等静压石墨压头及垫块。耐压强度≥40MPa.软件控制系统特点:支持多组配方功能，每个配方最多 36 步，可设定温度、压力、时间、PID 号、功率限幅。

支持配方查看、新增(含以模板新增)、保存、替换、删除、调用支持工艺跳步(向前、后跳)工艺运行时，配方当前步和所调用的 PID 背景色改变，方便查看。配方编辑时，修改内容的背景颜色改变， 便于突出显示(特别是对于以模板新增的配方，方便比较)。十组温度 PID，一组压力PID，支持运行过程中对 PID 参数的查看和实时修改。

数据管理支持时实曲线， 可修改 X、Y 轴最大、小值， 实现曲线放大和缩小，以便于观察当前工艺局部

或整个曲线， 如 SV 1、PV 2、PLC 3输出。

支持数据记录和历史数据导出， 用户可修改数据记录间隔时间5，包含： SV、PV、真空度、