产品介绍
PSM-1000 是麦克奥迪高端模块化正置落射工业显微镜,原生支持激光光路集成,兼容 355nm 紫外、532nm 绿光、1064nm 红外激光;采用正像光学系统,观察样品操作方向直观。标配三组可切换管镜,搭载无限远平场复消色差长工作距离物镜,适合晶圆、半导体芯片、镀层、金属金相、精密元器件表面检测,广泛用于探针台配套观测、激光微加工在线监视、材料微观组织科研分析。预留标准 C 接口,可外接 Moticam Pro 显微摄像头实现数字化成像记录。
详细技术参数
1. 观察镜筒
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三目 Siedentopf 镜筒;分光模式50:50 / 0:100 可切换
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瞳距调节:55~75 mm
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目镜:WF10×/24mm 高眼点宽视野目镜,支持分划板
2. 光路管镜切换转盘(核心特色)
3 组可切换管镜:
1X NUV/VIS(适配 355~532nm 紫外 / 可见光)
1X NIR/VIS(适配 532~1064nm 红外 / 可见光)
2X VIS(可见光放大观测)
3. 物镜系统(选配)
无限远平场复消色差 ELWD 超长工作距离物镜,螺纹 M26×1/36"
可选规格:2×、5×、10×、20×、50×、100×;
可选带齐焦补偿物镜,切换倍率无需重新对焦;
总放大倍率范围:20×~2000×
4. 物镜转换器
4 孔外向式物镜转盘,单孔独立中心可调;可拆卸设计
5. 调焦机构
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双侧同轴粗 / 微调焦
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总行程:50 mm
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粗调:4 mm / 转;微调:0.1 mm / 转,最小刻度 1 μm
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承载上限:20.5 kg,可适配探针台、大型工装
6. 摄像拓展
标准 C 接口摄像端口,兼容 Moticam Pro 系列 CCD 显微摄像头
7. 激光功能配置
内置可拉出分光器,带激光安全锁止销;
光谱覆盖:355 nm(UV)~1064 nm(IR);光学镀膜提升激光透过率;支持激光加工在线观测
8. 照明系统(选配)
落射同轴科勒照明;可选 50W 卤素光源 / LED 冷光源;可加装偏光组件
9. 使用环境
温度:10~35 ℃;湿度 30%~75% RH,无凝露;防尘防震实验室