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详细资料
VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。
技术参数:
主要特点 · 真空吸附方式固定样件，操作简便。 · 使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置，以减少偏心而造成的震动或飞片。 · 根据样件规格可以配用不同的吸盘，且更换方便简单。 · 设有12组程序，每组包含6个运行阶段。 · 电机启动快速稳定，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。 · 50W/24V 直流电机 · 适于在Ar气环境中工作（真空泵放置在手套箱外） 参数 · 电机功率：50W/24V · 速度范围：500-10000rpm · 程序运行：可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段 · 增减速率设置范围：100rpm/s-2000rpm/s · 时间范围：0-60s · 吸盘：Φ19mm、Φ60mm 进气口 上盖有一个直径6mm的进气口可将需要的气体通入腔体，实现在气氛环境下旋转涂覆 可选加热部分 上盖内部增加红外灯管加热，采用K型热偶测温，数字温控器控温，最高120℃，可使得样品涂覆后原位烘干，用于薄膜太阳能电池等研究。 产品规格 · 尺寸：450mm×280mm×340mm； · 重量：20kg 标准配件 1 真空吸盘（含O型圈） 2个 2 中心定位器（含4个定位柱） 1个 3 滴胶注射器（20ml） 1个 4 注射器支架 1个 5 AP-1400V无油真空泵 1台 6 橡胶管（含卡箍） 1根 可选配件 过滤器（真空泵用）
主要特点
· 真空吸附方式固定样件，操作简便。
· 使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置，以减少偏心而造成的震动或飞片。
· 根据样件规格可以配用不同的吸盘，且更换方便简单。
· 设有12组程序，每组包含6个运行阶段。
· 电机启动快速稳定，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。
· 50W/24V 直流电机
· 适于在Ar气环境中工作（真空泵放置在手套箱外）
参数
· 电机功率：50W/24V
· 速度范围：500-10000rpm
· 程序运行：可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段
· 增减速率设置范围：100rpm/s-2000rpm/s
· 时间范围：0-60s
· 吸盘：Φ19mm、Φ60mm
进气口
上盖有一个直径6mm的进气口可将需要的气体通入腔体，实现在气氛环境下旋转涂覆
可选加热部分
上盖内部增加红外灯管加热，采用K型热偶测温，数字温控器控温，最高120℃，可使得样品涂覆后原位烘干，用于薄膜太阳能电池等研究。
产品规格
· 尺寸：450mm×280mm×340mm；
· 重量：20kg
标准配件
1
真空吸盘（含O型圈）
2个
2
中心定位器（含4个定位柱）
1个
3
滴胶注射器（20ml）
4
注射器支架
5
AP-1400V无油真空泵
1台
6
橡胶管（含卡箍）
1根
可选配件
过滤器（真空泵用）
